超精密清洗包括（kuò）精（jīng）密工業生產過程中對機械零（líng）件、電子元件，光（guāng）學部件等的超（chāo）精密清洗，以去除極（jí）微小汙垢顆粒為目（mù）的。

超聲波清洗機（jī）根據清洗（xǐ）方法的不同，也可以分（fèn）為物理（lǐ）清洗和化學清洗：利用力學、聲學、光學，電學、熱學的原理，依（yī）靠（kào）外來能量的作用，如機械摩擦、超（chāo）聲波、負壓、高壓)。紫外線、蒸汽等去除物體（tǐ）表麵汙（wū）垢的方法叫物理清洗（xǐ）；依靠化學反應的作（zuò）用，利用化學藥品或其它溶劑去除物體表麵汙垢（gòu）的方法叫化學清洗。如用各種無機或有機酸去除物（wù）體表麵的鏽跡、水垢，用氧化劑（jì）去除物體表麵的色斑（bān）。消（xiāo）毒劑殺滅微生物並（bìng）去除黴斑等。物理清洗和化學清洗都（dōu）存（cún）在（zài）著各自的優（yōu）缺點，又具有很好的互補性。在實際應用過程中，通（tōng）常都是（shì）把（bǎ）兩者結合起來（lái）使（shǐ）用，以獲得較好的清（qīng）洗效果（guǒ）。

根據清洗媒介的（de）不同，又可以分為濕式清洗和幹式清洗：一般將在液（yè）體介質中（zhōng）進行（háng）的清洗稱為濕式清（qīng）洗，在氣體介質中進行的清洗稱為幹式（shì）清洗．傳統的清洗方式大多（duō）為（wéi）濕式清洗，而人們比較容易（yì）理解的幹式清洗也就是吸塵器。但近年來，幹式清（qīng）洗發展迅（xùn）速．如激光清洗。紫外線清（qīng）洗，等離子清洗、幹冰清洗等（děng），在高，精（jīng），尖工業（yè）技術領域得到快速發展。