超聲波清洗（xǐ）儀器的出現替代了常規的清洗方式，利用高中低頻不同的超聲波頻率劃分了多種用途的（de）超聲波清洗（xǐ）機以（yǐ）提（tí）高（gāo）清洗效率及清洗（xǐ）結果，那麽高中（zhōng）低頻不同的超聲波頻（pín）率（lǜ）之間的清（qīng）洗作（zuò）用又有什麽區別呢？

      超（chāo）聲波是（shì）一（yī）種（zhǒng）機械波，是機械振動在媒質中（zhōng）的傳播。當超聲（shēng）波在液體中傳播時，液體質點受到聲波的擾動後會在其平衡位置附近做微小振動，液體質點沒有宏觀上的移動和遷（qiān）移，但其振動速度和加速度很大。例如聲強為1. 0W/cm2、頻率為20 kHz的超聲（shēng）波在水中傳播(暫不考慮其非線性效（xiào）應)，如果液體質點位移振（zhèn）幅（fú）為5μm，則質點要經受（shòu）壓（yā）力在正負1. 68atm之間以每秒2萬次的重複頻（pín）率（lǜ）做周期性變化的作（zuò）用，質點振動速度約為0，63m/s，而振（zhèn）動的（de）加（jiā）速度達到（dào）7.9X10*m/s' ，大約為重力加速度的8000倍。這樣激烈而快（kuài）速變化的機械運動，於附著（zhe）在固體（tǐ）表麵的灰塵等不溶性固（gù）體顆粒，強大的（de）剪切作用足以使固體顆粒從待清洗物體表麵脫落，從而（ér）達到清洗的目（mù）的。

      當超聲波的頻率增（zēng）加到幾百千赫的（de）高頻時，波長短了，λ=0.7~1.5mm，聲場中質（zhì）點的稠密區與稀（xī）疏區界線（xiàn）模糊，液態聲場中空化現象幾乎消失（shī），超聲能量表現為媒質質點加速度能量。例如在矽晶片及（jí）光刻清洗中，使用950 kHz超聲波，兩個波峰（fēng）之間（jiān）的時間（jiān）僅為1. 05μs，不足以形成空化泡，但能量將達到重（chóng）力加速度的10倍，兆級超聲波清洗體現在液態質點對工件表麵（miàn）每秒95萬次的精細擦洗上。這足以使清洗液迅（xùn）速擴散到基片（piàn）(工件)與粒子（zǐ）(汙物（wù）)之間（jiān），使工件表麵水化，變得濕潤。液膜（mó）作（zuò）用如同尖劈，使粒子（zǐ）從基片脫落，同時液膜（mó）也進一步 防止了粒（lì）子對基片的二次吸附，這對去除亞微（wēi）米粒子很（hěn）有（yǒu）效果。